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            基于266 nm DUV辐射源的高功率,高重复率 超快光纤激光器

            2019-03-21

            高功率、超快速、高重复率的深紫外(DUV)相干辐射由于其在超快时间分辨测量、激光烧蚀、光刻和生物医学等方面的广泛应用而存在巨大的需求。近日,来自印度物理研究实验室的科研团队报导了一种获得紧凑、高功率、高重复率和超快速的深紫外(DUV)辐射源的方法。在该方法中,使用1064 nm的Yb光纤激光器以78MHz的重复频率通过两级单通倍频来产生260fs的输出脉冲,继而得到了266 nm的超快DUV辐射。光纤激光器首先使用LBO晶体倍频为532nm的绿光,其输出功率高达2.4 W,转换效率约为50%。产生的532nm绿光在BBO晶体中进一步倍频,得到输出功率高达616mW,近红外到DUV转换效率约为12.8%的266nm DUV辐射,该团队测量了532nm 绿光和DUV在2.5小时内的峰峰功率只的波动约为4%,同时验证了在长时间的运行中也不会有任何的降级。


            用于产生超快DUV辐射的实验装置示意图

            (来源:光谱网



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